IDS 3010 激光干涉仪

    德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，最新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于极端环境如高真空与高辐射环境并且具有极高精度与极高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。 

   德国国家计量院（ PTB)对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证(下图）。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国国家标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。 

产品特点

◆ 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成

◆ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

◆ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz

◆ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度

◆ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）

◆ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm

应用方向

IDS 3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。 

部分应用案例： 

1. 激光干涉仪检测纳米精度位移台；

2. 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜；

3. 激光干涉仪无损探测轴承误差；

4. 激光干涉仪校正极低温非线性扫描 ； 

光纤式激光探头 

◆ IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。

◆ 探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。

◆ 最低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。

激光探头技术参数表

	型号	尺寸mm	工作距离	激光类型	光斑
		(直径与长)	(低反射，高反射材料）	（聚焦、准直）	大小
	D1.2/F7	Ø   1.2;	5-9   mm，	聚焦，	70um@7mm
		7.5	30-45   mm	焦距7mm
	D4/F8	Ø   4;	6-10   mm，	聚焦，	70um@8mm
		11.5	15-30   mm	焦距8mm
	D4/F13	Ø   4;	11-15   mm，	聚焦，	70um@13mm
		11.5	30-45   mm	焦距13mm
	D12/F2.8	Ø   12;	2.8 mm	聚焦，	2um@   2.8mm
		32.3		焦距2.8mm
	M12/C1.6	Ø   14;	0-1000   mm	准直	1.6mm
		17.4
	M15.5/C1.6	Ø   22;	0-1000   mm	准直	1.6mm
		20.6
	M12/C7.6	Ø   14;	0-5000   mm	准直	7.6mm
		49.3

IDS 主机尺寸与接口：

测试数据展示：