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商品名称：SU5000 热场式场发射扫描电镜
产品特点
高性能电子光学系统
二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊
高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于高效微区分析
性能优异
压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊
开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
规格
| 项目 | 内容 | |
| 分辨率 | 1.2 nm @ 30 kV | |
| 3.0 nm @ 1 kV | ||
| 2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1 | ||
| 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2 | ||
| 放大倍率 | 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) | |
| 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素) | ||
| 电子光学系统 | 电子枪 | ZrO /W 肖特基式电子枪 |
| 加速电压 | 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进) | |
| 着陆电压 | 减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1 | |
| 最大束流 | > 200 nA | |
| 探测器 | 低位二次电子探测器 | |
| 低真空模式*2 | 真空范围: 10 - 300 Pa | |
| 马达台 | 马达台控制 | 5 - 轴自动 (优中心) |
| 可动范围 | X：0～100mm | |
| Y：0～50mm | ||
| Z：3～65mm | ||
| T：-20～90° | ||
| R：360° | ||
| 最大样品尺寸 | 最大直径: 200 mm | |
| 最大高度: 80 mm | ||
| 选配探测器 | 高分辨率顶位二次电子探测器＊1 | |
| 高灵敏度低真空探测器 (UVD) | ||
| 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3 | ||
| 能谱仪 (EDS) | ||
| 波谱仪 (WDS) | ||
| 背散射电子衍射探测器 (EBSD) | ||
| *1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器） | ||
| *2：低真空功能（包含5分割半导体探测器） | ||
| *3：空压机(本地采购) | ||
化繁就简 集成方案
售后无忧 服务周到
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