RTS-1345 全自动四探针测试系统

• 可对样品进行单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的全自动测试；

• 屏蔽测试，完全消除光线对样品测试的影响，保证测量的准确性；

• 吸附测试，完全消除全自动测试过程中样品移动对测试的影响；

• 可不连接电脑使用进行单点、中心五点、边缘五点测试并把测试结果同时显示于显示屏；

RTS-1345型全自动四探针测试系统是运用四探针测量原理的多用途综合全自动测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

仪器由主机、测试台、四探针探头、真空泵、屏蔽罩、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制进行全自动测试，然后把测试数据采集到计算机中加以分析，以表格、图形方式统计分析显示测试结果。

RTS-1345型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。

技术指标 

• 测量范围

•  电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)；  

•  方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)；

•  电导率：0.0005～10000 s/cm；

•  电阻：0.0001～2000Ω.cm；

• 可测晶片直径：Φ=200mm；

• 恒流源：电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调

• 数字电压表

•  量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

•  分辨力：10μV；

•  输入阻抗：>1000MΩ；

•  精度：±0.1% ；

•  显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

• 四探针探头基本指标

•  间距：1±0.01mm；

•  针间绝缘电阻：≥1000MΩ；

•  机械游移率：≤0.3%；

•  探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；

•  探针压力：5～16 牛顿(总力)；

• 四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)

• 模拟电阻测量相对误差( 按JJG508-87进行): 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

• 整机测量最大相对误差：(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

• 整机测量标准不确定度： ≤5%

• 测试模式

• 连接电脑使用可对样品进行单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的全自动测试，不连接电脑情况下可进行单点、中心五点、边缘五点测试并把测试结果同时显示于显示屏。

• 消除测试过程中影响因素：屏蔽和吸附测试，完全消除光线和全自动测试过程中样品移动对样品测试的影响，保证测量的准确性。

• 标准使用环境

•  温度：23±2℃；

•  相对湿度：≤65%；

•  无高频干扰；

•  无强光直射；