D07-19B气体质量流量控制器

产品简介：

       高精度，快响应型

       橡胶密封、模拟电路的MFC

       采用DB15型电插头，国际标准机械接头

       国际兼容

用途：

       用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

详细参数：

       产品型号：D07-19C

       产品类型：高精度型,快响应型

       流量量程：5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm

       产品精度：±1％F.S.(20slm ±2％F.S.)

       重复精度：±0.2% FS

       线性：±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.)

       响应时间：≤1.5sec

       工作温度范围：(5~45)°C

       耐压：3MPa

       密封材料：氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

       输入输出信号：(0~5)VDC

       电源：±15V

       阀类型：- 无 -

       温度系数：Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃

       零点飘移指标：- 无 -

       电气连接：D sub 15 pins Male

       工作压差范围：(0.1～0.5) MPa

       漏率： 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）

       标准接头形式：双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1  软管接头

       表面化学成分：- 无 -

       表面粗糙度：- 无 -

       抗电磁干扰：CE

       重量：1.2Kg