商品名称:nEXT300D 分子泵
概述
nEXT300D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为300l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为永久性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,最终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机,内置驱动,与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W和160W两种最大预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽氩气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。
基本的分子泵系统通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
性能特点
◆ 最新的转子设计,可以实现卓越的抽速和压缩比
◆ 维护简便,用户可以在短时间内完成维护,无需复杂的工具或拆卸
◆ 设计紧凑,性能卓越,可以实现高效系统化
◆ 与Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容,可加3个真空规,而无需额外控制器
◆ 符合RoHS,并通过CSA/UL认可
技术指标
| 入口法兰 | DN100ISO-K,DN100CF | |
| 出口法兰 | KF25 | |
| 抽 | N2 | 300l/s |
| 速 | He | 340l/s |
| H2 | 280l/s | |
| 压 | N2 | >1×1011 |
| 缩 | He | 1×106 |
| 比 | H2 | 5×104 |
| 极限真空(ISO/CF,RV前级泵) | <6×10-8/<5×10-10 mbar | |
| 推荐前级泵* | RV12/nXDS10i | |
| 放气口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | |
| 吹扫口 | 1/8英寸BSP母螺纹 | |
| 最大连续入口流量(氮气)? | ||
| 水冷(水温15°C,环境温度40°C) | 95sccm | |
| 空冷(环境温度35°C) | 115sccm | |
| 泵转速 | ||
| 标称转速 | 60000rpm | |
| 待机转速 | 33000~60000rpm可调(缺省42000 rpm) | |
| 功率范围 | 50~200W可调(缺省160W) | |
| 90%转速启动时间 | 145s? | |
| 模拟输出 | 泵转速、功耗、泵温度、控制温度 | |
| 冷却方式# | 空冷/水冷 | |
| 空冷环境温度 | 5~35°C | |
| 最小水冷流速 | 15l/ h | |
| (15°C的水) | ||
| 水温范围 | 10~20°C | |
| 入口法兰最高温度 | 80°C | |
| 工作姿态 | 垂直、水平(±2°) | |
| 噪声(1m处) | <45dB(A) | |
| 最大耐受磁场 | 5mT | |
| 推荐控制器 | TIC200涡轮仪表控制器 | |
| 稳态功耗 | 20W | |
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