nEXT300D 分子泵

  • 类 别:
  • 注射/其他泵
  • 型 号:
  • nEXT300D
  • 订货号:
  • TP0000878

商品名称:nEXT300D 分子泵

  • 货号:TP0000878

概述

   nEXT300D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为300l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为永久性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,最终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。它们采用24V到48V直流无传感器电机,内置驱动,与Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。该分子泵有80W和160W两种最大预设功率可选,前者可使用100W TIC控制器,适用于抽氩气,但在该功率下达到满转速的加速时间较长。

   基本的分子泵系统通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。


性能特点

最新的转子设计,可以实现卓越的抽速和压缩比

◆ 维护简便,用户可以在短时间内完成维护,无需复杂的工具或拆卸

◆ 设计紧凑,性能卓越,可以实现高效系统化

◆ 与Edwards TIC涡轮仪表控制器兼容,可加3个真空规,而无需额外控制器

◆ 符合RoHS,并通过CSA/UL认可


技术指标

入口法兰DN100ISO-K,DN100CF
出口法兰KF25
N2 300l/s
He 340l/s

H2280l/s
N2 >1×1011
He 1×106
H25×104
极限真空(ISO/CF,RV前级泵)<6×10-8/<5×10-10 mbar
推荐前级泵*RV12/nXDS10i
放气口1/8英寸BSP母螺纹
吹扫口1/8英寸BSP母螺纹
最大连续入口流量(氮气)?
水冷(水温15°C,环境温度40°C)95sccm
空冷(环境温度35°C)115sccm
泵转速
标称转速60000rpm
待机转速33000~60000rpm可调(缺省42000 rpm)
功率范围50~200W可调(缺省160W)
90%转速启动时间145s?
模拟输出泵转速、功耗、泵温度、控制温度
冷却方式#空冷/水冷
空冷环境温度5~35°C
最小水冷流速15l/ h
(15°C的水)
水温范围10~20°C
入口法兰最高温度80°C
工作姿态垂直、水平(±2°)
噪声(1m处)<45dB(A)
最大耐受磁场5mT
推荐控制器TIC200涡轮仪表控制器
稳态功耗20W