商品名称:XP-703DⅢ 半导体材料气体检漏仪
产品描述:半导体材料气体检测
01.产品特点
● 小巧·轻量
● 可以检查非常微量的气体泄漏
● 最适合氢气相关设备的保安
● 搭载的泵有自动停止功能
● 搭载[自动气体排气模式]功能
● 保护等级约为IP22(JIS C 0920)*安装皮套时
02.产品用途
● 半导体工厂/石油化学工厂等
● 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.产品参数
型号 | XP-703Dm |
检测对象气体 | H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
检测原理 | 热线型半导体 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测泄漏量 | H2 : 5.07x10-7. AsH3 : 2.53x10-7. B2H6、1.01 x10-7SiH4x 2.53x10-7. PH3: 1.52x10-7 |
可检测浓度 | H2: 1.0ppm、AsH3 : 0.5ppm、B2H6 : 0.2ppm、SiH4 : 0.5ppm、PH3 : 0.3ppm |
反应时间 | 10秒以内 |
显示方式 | 液晶数字(手动背景灯) |
电源(额定) | 5号碱性干电池(LR6) 2节 |
电池使用时间※1 | 约12小时(5号碱性干电池、25°C时) |
保护等级※2 | 相当于IP22※3 |
使用压力范围 | 大气压(800~1100kpa) |
使用温湿度范围 | 0~40°C、85%RH以下(无结露现象) |
外形尺寸 | W38xH130xD32mm (突出部分除外) |
重量 | 约190g (包括电池、皮套) |
※1.电池使用时间因环境条件、使用条件、保存日期、电池生产厂家商等而异;
※2.收纳在皮套里的状态;
※3.所谓相当于IP22是指:对于手指接近设备内部的危险位置的保护结构(IP2X)、以及外部对垂直15度以内倾斜时,在4个位置各2.5分(合计10分)垂直落下的水滴不会给机器内部造成有害影响的结构。
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