LYRA 3 GM 聚焦离子束场发射扫描电镜

   LYRA 3 GM是一款完全由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜，可选配气体注入系统(GIS)， 有高真空和低真空两种模式，其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等。

分析潜力

• 高亮度肖特基发射可获取高分辨率、高电流和低噪声的图像

• 可选配超高分辨率的In-Beam二次电子探头

• 独特的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化

• 成像速度快

• 低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可获得高分辨率（选配）

• In-Beam背散射电子探头提供小工作距离下的BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品的分析

• 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

• 完美的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）

• 由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式真空泵，因而可以快速简单的得到干净的真空样品室。电子枪的真空由离子泵维持。

• 全自动设置的显微镜包括了电子光路设置和合轴功能

• 网络操作和内置远程控制/诊断软件为标配

• 3维电子束技术提供了实时立体图像

• 在低真空模式下样品室真空可达到500Pa，用于观测不导电样品

• 独特的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应非常低

• 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

• 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

• 在高束流下，选配的Cobra聚焦离子束提供了超高的分辨率和卓越的性能

• FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

• 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图片的获取、存档、处理和分析功能

  
  

LYRA3配置

• LYRA3 GMH ：装有马达驱动全计算机化优中心样品台的超大样品室电镜，适用于在高真空模式下对导电样品的分析。

• LYRA3 GMU：可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。

配件

• 二次电子探头 

• 背散射电子探头

• In-Beam SE

• In-Beam BSE

• 探针电流测量

• 压差式防碰撞报警装置

• 可观察样品室内部的红外线摄像头

• TOP-SIMS

• 二次离子探头等....