SpinProcessor WS650 匀胶旋涂仪

  • 类 别:
  • 喷涂设备
  • 型 号:
  • SpinProcessor WS650
  • 订货号:
  • TP0000746

商品名称:SpinProcessor WS650 匀胶旋涂仪

  • 货号:TP0000746

MYCRO公司提供美国原装进口匀胶旋涂仪,请您放心选购!

   MYCRO美国原装进口的旋涂仪,自1985年开始,我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统,目前客户已遍布全球。匀胶机有很多种称谓,英文叫SpinCoater或者SpinProcessor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机/旋转涂层仪、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机旋涂仪


适用旋涂材料的尺寸范围

WS-650-23,标配为10mm,可选配到3mm或5mm6英寸(150mm),直径圆片或5x5英寸(125mm)边长方片

WS-650-8,标配为10mm,可选配到3mm或5mm8英寸(200mm),直径圆片或7x7英寸(175mm)边长方片

WS-650-15,标配为10mm,可选配到3mm或5mm12英寸(300mm),直径圆片或9x9英寸(225mm)边长方片

WS-650-X,标配为10mm,可选配到3mm或5mm,可根据用户特殊要求订制设备


可选择三种不同的安装构造

最流行的TableTop型,可自由放置在实验台面上

OND型,带远程控制器可用于手套箱等封闭环境

IND型,带远程控制器可用于WetStation湿法处理环境


高性能马达驱动

最强动力加速度:80000RPM/S(空载),30000RPM/S

(负载参考:100mm直径标准晶圆片,标准真空托盘);

◆ 双向旋转旋转:正反旋转速度范围:1-12000RPM

◆ 无刷直流驱动马达(超过10年的使用历史);

◆ 超过使用寿命,自2007年至今性能良好24小时x7天的连续不间断运行测试;

◆ 伺服电极分辨率:可达4000p/rev;

◆ 速度精度:0.0RPM;

◆ 可重复精度:0.0RPM;

◆ 获得NIST认证;


650型系列多功能控制器

◆ 实时更改设定,真正独特的交互式工艺控制器

◆ 绝非一个简单有限的PLC控制

◆ 用户常常为在工艺处理过程中不能自由调节交互处理而苦恼

◆ WS-650却可以在运行的工艺中,随时更改设定正向旋转,反向旋转,往返旋转(周期性更改旋转方向),前后步骤随意调节(双向旋转要求选配Hz型马达)


SPIN3000分析软件

◆ 批量存储,更容易查找曾经用过的工艺数据;

   通过软件可将实验数据通过标准的USB通讯接口批量输入输出;

◆ 旋涂模拟,节约无谓的实验材料消耗;

   可预录入设定的数据(转速、时长和加速度)进行模拟,获取最佳的实验设定值和曲线(工艺步骤)后再进行实验

◆ 实时记忆,这样的重复性才可信。

   类似于记录飞机飞行参数的“黑匣子”,可大大提高实验的可重复性。