SpinProcessor WS650 匀胶旋涂仪

MYCRO公司提供美国原装进口匀胶旋涂仪，请您放心选购！

   MYCRO美国原装进口的旋涂仪，自1985年开始，我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统，目前客户已遍布全球。匀胶机有很多种称谓，英文叫SpinCoater或者SpinProcessor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机/旋转涂层仪、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机旋涂仪

适用旋涂材料的尺寸范围

WS-650-23,标配为10mm,可选配到3mm或5mm6英寸（150mm）,直径圆片或5x5英寸（125mm）边长方片

WS-650-8,标配为10mm,可选配到3mm或5mm8英寸（200mm）,直径圆片或7x7英寸（175mm）边长方片

WS-650-15,标配为10mm,可选配到3mm或5mm12英寸（300mm）,直径圆片或9x9英寸（225mm）边长方片

WS-650-X,标配为10mm,可选配到3mm或5mm,可根据用户特殊要求订制设备

可选择三种不同的安装构造

最流行的TableTop型，可自由放置在实验台面上

OND型，带远程控制器可用于手套箱等封闭环境

IND型，带远程控制器可用于WetStation湿法处理环境

高性能马达驱动

◆ 最强动力加速度：80000RPM/S（空载），30000RPM/S

（负载参考：100mm直径标准晶圆片，标准真空托盘）；

◆ 双向旋转旋转：正反旋转速度范围：1-12000RPM

◆ 无刷直流驱动马达（超过10年的使用历史）；

◆ 超过使用寿命，自2007年至今性能良好24小时x7天的连续不间断运行测试；

◆ 伺服电极分辨率：可达4000p/rev；

◆ 速度精度：0.0RPM；

◆ 可重复精度：0.0RPM;

◆ 获得NIST认证；

650型系列多功能控制器

◆ 实时更改设定，真正独特的交互式工艺控制器

◆ 绝非一个简单有限的PLC控制

◆ 用户常常为在工艺处理过程中不能自由调节交互处理而苦恼

◆ WS-650却可以在运行的工艺中，随时更改设定正向旋转，反向旋转，往返旋转（周期性更改旋转方向），前后步骤随意调节（双向旋转要求选配Hz型马达）

SPIN3000分析软件

◆ 批量存储，更容易查找曾经用过的工艺数据；

   通过软件可将实验数据通过标准的USB通讯接口批量输入输出；

◆ 旋涂模拟，节约无谓的实验材料消耗；

   可预录入设定的数据（转速、时长和加速度）进行模拟，获取最佳的实验设定值和曲线（工艺步骤）后再进行实验

◆ 实时记忆，这样的重复性才可信。

   类似于记录飞机飞行参数的“黑匣子”，可大大提高实验的可重复性。