URE-2000紫外光刻机

URE-2000/35L紫外光刻机

       曝光面积：4英寸 ，非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动化程度高）和高校教学科研（可靠性好，演示方便） 。

1．技术特征

——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动化程度高）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）

        采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用 350W 进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。

2．技术参数

◇ 曝光面积：4 英寸

◇ 曝光波长：365nm

◇ 分辨力：0.8m  对准精度：0. 8m  掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm

◇ 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

◇ 样片尺寸：直径 10mm－－ 100mm(各种不规则片)

◇ 厚度 0.1mm－－5mm(可扩展为 15mm)

◇ 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

◇ 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

◇ 照明不均匀性： 3%（100mm 范围）

◇ 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍，

◇ 光学+电子放大 800 倍

◇ 物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

◇ 目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍   调平接触压力通过传感器保证重复

◇ 数字设定对准间隙和曝光间隙

◇ 具备压印模块接口，也具备接近模块接口

◇ 掩模相对于样片运动行程：

   X:  5mm; Y:  5mm; : 6º

◇ 最大焦厚：400m（SU8 胶，用户提供检测条件）

◇ 光源平行性：3.5 º

◇ 曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º

◇ 单层曝光一键完成

◇ 采用球气浮自动找平

◇ 汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）

3．外形尺寸：

1200mm（长）×900mm(宽) ×1750mm（高）

4．配置

（1）曝光头

◇ 冷光椭球镜

◇ 350W 进口直流高压汞灯(进口)   XYZ 汞灯调节台

◇ 冷却风扇

◇ 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜 1、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

◇ 掩模样片整体运动台

◇ 掩模样片相对运动台

◇ 转动台

◇ 样片调平机构,自动完成

◇ 基片抽拉式上下机构

◇ 样片调焦机构，电机自动调

◇ 承片台 4 个：15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸（可按用户要求增减）

◇ 掩模夹 4 个：3 英寸、4 英寸、5 英寸（可按用户要求增减）

（3）对准显微镜

◇ 光源（配备品 2 只）、 电源

◇ 双目双视场对准显微镜主体

◇ 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

◇ 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

◇ CCD 对准系统，21 寸液晶显示器

（4）电控系统

◇ 汞灯触发电源(350W 直流汞灯)  单片机控制系统

◇ 控制柜桌

（5）气动系统

◇ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

◇ 电磁阀驱动

◇ 气动仪表

（6）其他附件

◇ 真空泵一台

◇ 空压机一台

◇ 管道

（7）技术资料

◇ 使用维修说明书

◇ 显微镜使用说明书