YZD08-5C 低温等离子清洗机

技术特点                                            

1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。

2.仪器实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验

3.仪器实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验

4.无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可

5.电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂

6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染

7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠，具有自动保护功能。

8.灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。

9.采用皮拉尼真空技术，实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率，能够方便的接入MFC气体流量控制仪，实现对气体流量和真空度的准确控制和监测。

10. LED+金属按键控制方式，操作方便稳定可靠。

技术规格参数

• 不锈钢/石英舱体：Φ150 mm×L255mm

• 工作气路：两路，可以选配MFC控制

• 射频频率：40KHz

• 射频功率：0-200W/300W可选，可调

• 控制系统：按钮+单排LED显示，实时显示和检测舱内真空度值

• 时间范围：0—99分59秒连续可调

• 工作压力：样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节

• 工作气体：空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可

• 进气压力：空气：常压     连接气体钢瓶：0.1-0.3Mpa

• 工作模式：手动模式和程序化自动模式

• 真空泵抽速：1升到5升每秒

• 输入电源：~220V／50Hz

• 整机尺寸（D*W*H）：552X590X295mm

• 重量（约）：24Kg