YZD08-5C 低温等离子清洗机

时间范围:0—99分59秒连续可调;真空泵抽速:1升到5升每秒

  • 类 别:
  • 等离子清洗机
  • 型 号:
  • YZD08-5C
  • 订货号:
  • TP0001304

商品名称:YZD08-5C 低温等离子清洗机

  • 货号:TP0001304

技术特点                                            

1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用、防腐容易清洁。

2.仪器实现了手动,自动两种模式任意切换的工作方式,方便用户实验

3.仪器实现了程序化设计,预先编辑好程序,仪器可以自动完成实验

4.无需任何耗材使用成本低,无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可

5.电容式等离子激发,处理效果均匀,激发电极板内置样品仓内顶部悬挂

6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染

7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠,具有自动保护功能。

8.灵活的参数设置和修改功能,可适应多种处理工艺。

9.采用皮拉尼真空技术,实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的准确控制和监测。

10. LED+金属按键控制方式,操作方便稳定可靠。


技术规格参数

  • 不锈钢/石英舱体:Φ150 mm×L255mm

  • 工作气路:两路,可以选配MFC控制

  • 射频频率:40KHz

  • 射频功率:0-200W/300W可选,可调

  • 控制系统:按钮+单排LED显示,实时显示和检测舱内真空度值

  • 时间范围:0—99分59秒连续可调

  • 工作压力:样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节

  • 工作气体:空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可

  • 进气压力:空气:常压     连接气体钢瓶:0.1-0.3Mpa

  • 工作模式:手动模式和程序化自动模式

  • 真空泵抽速:1升到5升每秒

  • 输入电源:~220V/50Hz

  • 整机尺寸(D*W*H):552X590X295mm

  • 重量(约):24Kg