SU5000 热场式场发射扫描电镜

高灵敏度;压力可变

  • 类 别:
  • 扫描电镜
  • 型 号:
  • SU5000
  • 订货号:
  • TP0001485

商品名称:SU5000 热场式场发射扫描电镜

  • 货号:TP0001485

产品特点

高性能电子光学系统

  • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*

  • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像

  • 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析


性能优异

  • 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*

  • 开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

  • 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等


规格

项目内容
分辨率1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
电子光学系统电子枪ZrO /W 肖特基式电子枪
加速电压0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
着陆电压减速模式: 0.1 - 2.0 kV *1
最大束流> 200 nA
探测器低位二次电子探测器
低真空模式*2真空范围: 10 - 300 Pa
马达台马达台控制5 - 轴自动 (优中心)
可动范围X:0~100mm
Y:0~50mm
Z:3~65mm
T:-20~90°
R:360°
最大样品尺寸最大直径: 200 mm
最大高度: 80 mm
选配探测器高分辨率顶位二次电子探测器*1
高灵敏度低真空探测器 (UVD)
5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3
能谱仪 (EDS)
波谱仪 (WDS)
背散射电子衍射探测器 (EBSD)
*1:减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
*2:低真空功能(包含5分割半导体探测器)
*3:空压机(本地采购)